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电阻式蒸发镀膜机有哪些优点-广东振华真空镀膜设备

所谓电阻式蒸发镀膜机,顾名思义,就是利用电阻加热器加热蒸发的镀膜机。该类设备的特点是造价便宜、构造简单、使用可靠。一般是用于熔点不太高的材料的蒸发镀膜,这些材料熔点通常不高于1300°C,电阻蒸镀机尤其适用于对膜层质量没有特别高要求的大批量的生产中。

电阻式蒸发镀膜机

迄今为止,在镀铝制镜的生产中,仍然非常普遍使用着电阻加热蒸发镀膜工艺。设备在采用电阻加热蒸发的蒸镀工艺时,需注意加热器材料的选用。

通常情况下,电阻加热器的材料多为W、Ta和Mo等金属(高熔点)。在加热状态下,可保证加热器材料被蒸发的分子数不多,这样才能使加热器材料作为杂质而进入所镀制薄膜的可能性降低。为了达到这一目的,蒸镀机的加热器材料使用温度需低于其的平衡蒸气压为10⁻⁸Pa的温度。此外,要选择合适的加热器材料组合蒸发材料,使这一组合在高温时不会因为发生扩散和化学反应而形成合金或化合物。

最后,考虑到Al、Ni、Fe、Co等金属会与Ta、Mo、W等金属在高温状态下形成合金。即使是金和钽在高温状态下,同样是会形成合金的。它们在形成合金之后,会降低加热器材料的熔点,所以就会容易烧坏加热器,因此,制作加热器时要选用不会与薄膜材料形成合金的材料。若做不到这一点,那就降低电阻式蒸发镀膜机加热器的使用温度。

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