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蒸镀机如何提高膜层均匀性-广东振华真空镀膜设备

真空蒸镀机在要求有均匀的膜厚的情况下,应当配置合适的工件夹具(如,行星式或回转的工件夹具)来保证镀后的膜层厚度的均匀一致。此外,还可以往真空镀膜室内通入少量的氩气,使真空室的真空度提高到6*10⁻¹~20Pa,这样蒸发粒子在到达工件前的传输过程中能发生多次碰撞,从而促使膜层的均匀性提高。

蒸镀机

这是由于蒸镀机产生的蒸镀粒子在真空中运动时,有些粒子会与剩余气体原子碰撞而产生散射现象。对于25°C的空气来说,当压力从10⁻⁶Pa变成10⁻⁴Pa时,粒子的平均有由程从5000cm变成50cm,因而能使散射粒子数目显著增加,蒸发镀膜膜层的均匀度也可明显改善。这种方法也就是所谓的“气体散射蒸镀法”。

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