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蒸发镀膜机有哪些特别的蒸发源-广东振华真空镀膜设备

高频感应加热蒸发源是真空镀膜技术中广泛应用的另一种蒸发源。这种加热蒸发的方式的特点是热效率高、蒸发量大,设备简单。所以已得到了工业性的应用。它的主要问题是必须采用抗热震性好、高温化学性能稳定的氮化硼坩埚,工业用的高频感应加热蒸发器的实例:在大型的真空蒸镀装置中,例如,在钢带上连续真空镀铝的大型设备中,高频感应加热蒸镀工艺取得了令人满意的效果。

采用激光束蒸发源的蒸镀工艺是一种理想的薄膜制备方法。这是由于可以在真空室之外安装激光器,这样不但使真空室内部的空间布置简化、加热源的放气减少,而且还完全避免蒸发器对被镀材料的污染现象,达到了镀制膜层更加纯洁的目的。

此外,激光加热蒸发镀膜机可以通过该工艺达到极高的温度,利用激光束加热能进行某些合金或化合物的“闪光蒸发”。这保证了膜的成分纯洁,还防止了膜的分馏或分解等。但是由于大功率连线式激光器的制作成本相对较高,所以这一类蒸镀设备的应用范围有一定的限制,目前看来还无法在工业中得到广泛投入应用。

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